产品描述(Product Description)
四甲基氢氧化铵五水合物(TMAH·5H₂O)是一种强碱性季铵盐化合物,通常以白色晶体或潮解性固体形式存在,易溶于水和甲醇等极性溶剂。该产品纯度高(≥98%),在半导体制造、微电子刻蚀、光刻显影液以及有机合成催化剂领域中广泛使用。
在电子化学中,TMAH 是一种重要的金属氧化物刻蚀剂与显影剂,常用于硅片微细加工、MEMS 工艺中;在有机合成中,它被用作强碱催化剂或相转移反应促进剂,用于醛缩合、酯交换、以及硅氧烷聚合反应。
其高纯度与稳定性使其成为科研及工业生产中不可或缺的含氮碱性试剂。
产品基本信息(Product Details)
| 项目 | 内容 |
| 中文名称 | 四甲基氢氧化铵五水合物 |
| 英文名称 | Tetramethylammonium hydroxide pentahydrate |
| 别名 | TMAH·5H₂O |
| CAS号 | 10424-65-4 |
| 分子式 | C4H13NO6 |
| 分子量 | 171.15 |
| 外观 | 白色或无色结晶固体,具潮解性 |
| 纯度 | ≥98% |
| 溶解性 | 易溶于水、甲醇、乙醇 |
| pH值(1M溶液) | >13 |
| 储存条件 | 密封避光,阴凉干燥处保存 |
| 包装 | 500g/瓶、25kg/桶(可定制包装) |
应用领域(Applications)
- 电子化学:用于硅片刻蚀、光刻显影液、MEMS 微加工
- 有机合成:作为强碱催化剂、相转移催化剂
- 聚合反应:硅氧烷、环氧树脂、醇缩合反应中应用
- 分析化学:作为滴定试剂和高碱性溶液配置原料
包装与储存(Packaging & Storage)
- 包装规格:500g、1kg 瓶装;25kg 塑料桶装
- 储存条件:密封保存,避免潮湿、热源与强氧化剂接触
- 保质期:12–24个月(取决于储存环境)
安全信息(Safety & Handling)
- 属强碱性腐蚀性物质,操作时应佩戴防护手套、护目镜和防护服
- 避免吸入粉尘或溶液蒸气
- 若与皮肤或眼睛接触,立即用大量清水冲洗并就医
- 按照MSDS规范储存与处置











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